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InVue®GV148液体浓度监控器可以实时提供测量过程流体的浓度，用于化学混合、提升浓度和稀释，无需中断过程检测。
InVue®GV148液体浓度监控器集成在一个小型密封外壳中，可提供性价比高的浓度监测，使前端（FEOL）、后端（BEOL）和工厂生产系统的工艺效率提高。这种工艺可以使过程控制更为严格， 从而提高工艺效率，减少成本投入，也减少废料的产生。
采用基于Windows®的HMI软件应用程序来支持 GV148配置和实时监控。该软件允许用户:
·获得实时折射率、流体温度和浓度信息
·自定义折射率以及浓度切换
·获取和分析化学品特定温度补偿的数据
·传感器平衡操作
·查看当前警告信息、系统事件和警告历史信息
·折射率归零
·配置模拟输出
GV148监测仪采用经过验证的折射率检测技术，外观小巧，可提供准确、安全和可重复的液体浓度测量方法。在线传感器可精确测量过程流体的折射率（IoR）和温度。然后，我们将利用这些信息 来计算工艺中液体的浓度。
工作原理
使用折射率技术，当光从平面玻璃或液体表面反 射到光电二极管检测器（PDA）时，InVue®GV148 浓度监测器开始工作。反射角是由液体与窗口之 间的折射率比决定的。定制的算法可以检测反射 光强度的微小变化。这种可以反射几何形状的能 力和小型化设计是InVue®GV148的重大特点。
·H2O2 溶液混合
·研磨液稀释
·专有添加剂混合
·全球和本地循环监控
·批量溶液混合监控
·容器寿命检测
·CMP后清洁溶液混合
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基于折射率的测量 |
为过程控制提供实时浓度和温度验证 快速响应时间，用于即时偏差检测 测量各种介质中的浓度，包括非导电流体 非直接接触式，保持化学物质纯度和洁净度 符合在线工艺效率要求 |
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含氟聚合物和蓝宝石的超纯润湿表面 |
保持化学物质的纯度和洁净 |
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小巧型电子产品 |
最小化整体工具体积 轻松集成到新的和现有的工具空间 |
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HMI软件 |
实时数据记录和分析工具 允许为定制专有化学品浓度监测 用于密切监控系统事件，参数变化和警报历史，包括详细 的事件日志 |
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多种通信选项 |
RS485、RS422、4-20mA 灵活满足各种控制系统 |
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全密封传感器 |
在恶劣的环境中依旧提供准确性、可重复性和可靠性 |
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背景光扣除算法 |
在背景光存在的情况下依旧保持高准确性 |
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传感器无耗材 |
只需要最少的硬件和预防性维护 |
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镜面清洁端口 |
便于手动清洁蓝宝石镜面 |
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LED状态灯 |
提供监视器频次、通信和错误的指示 |
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可选的N2/DI自动* 原位镜面清洁器 |
最大限度地减少维护停机时间，特别是在研磨液和亲水性化学品中 |
*配备适当的阀门和控制器
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传感器结构材料 |
流动池主体 |
聚四氟乙烯（PTFE）* |
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光学镜面 |
单晶蓝宝石* |
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电缆护套 |
聚氯乙烯（PVC） |
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阀盖、外壳 |
聚偏氟乙烯（PVDF） |
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安装板 |
聚丙烯（PP） |
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电器设备 |
电缆连接 |
19 pin Turck® male |
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额定电流 |
启动时1.0A ; 操作期间0.5A |
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主电压输入 |
24 VDC |
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IO电压输入 |
12 ‒ 24 VDC |
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短路保护 |
是 |
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外部LED |
4 |
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模拟输出 |
4 ‒ 20 mA 浓度、流体温度、折射率（RI） |
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离散数字输入 |
2 |
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离散数字输出 |
最大 2.80 mAdc (各个部件) |
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复位 |
数字输入、串行命令或HMI软件 |
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串行通信 |
最大压力 |
80psi 40℃(104°F) |
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工艺流体温度范围 |
20°C to 40°C(68°to104°F) |
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环境温度范围 |
20°C to 35℃(68°to95°F) |
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储存温度范围 |
-15°C to 40°C(5°to 104°F) |
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折射率检测 |
折射率检测范围** |
1.32-1.40 nD |
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准确性 |
±2×10-4nD(@20℃[68°F]from 1.332987-1.4000 nD) |
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重复性 |
5×10-5nD(@20°C [68°F]透明液体中) |
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精度 |
3×10-6nD(@20°C[68°F]纯水中) |
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响应时间 |
<3sec 对63%稳态变化的非平均响应时间 |
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趋势变化 |
<5×10-5nD/30days(@20℃[68°F]) |
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压力敏感度（典型） |
8×103 nD/psig(@20°C[68°F]纯水中) |
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符合ROHS标准 |
符合 |
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附件 |
IP54 |
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培训 |
一次 |
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*亲水性的组件
**对于折射率超出此范围的流体，请联系奥法美嘉
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入口/出口连接端口 |
尺寸 |
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A |
B |
C |
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1/4"Flaretek管配件 |
114.6mm(4.51") |
33.0mm(1.30") |
111.0mm(4.37") |
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3/8Flaretek管配件 |
117.7mm(4.64") |
34.7mm(1,.37") |
113.5mm(4.47") |
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1/2"Flaretek管配件 |
120.9mm(4.76") |
36.3mm(1.43") |
119.6mm(4.71") |
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3/4"Faretek管配件 |
126.6mm(4,99") |
38.9mm(1.53") |
132.6mm(5.22") |
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1"Faretek管配件 |
126.6mm(4,99") |
38.9mm(1.53") |
154.9mm(6.10") |
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1/2"Primelock管配件 |
120.9mm(4.76") |
36.3mm(1.43") |
122.9mm(4.84") |
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1"Primelock管配件 |
126.6mm(4,99") |
38.9mm(1.53") |
149.6mm(5.891) |
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1/4"支柱管接头 |
114.6mm(4.51") |
33.0mm(1.30") |
100.5mm(3.96") |
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3/8"支柱管接头 |
117.7mm(4.64") |
34.7mm(I.37") |
112.5mm(4.43") |
|
3/4"支柱管接头 |
126.6mm(4.99) |
38.9mm(1.53") |
134.5mm(5.29") |
InVue GV148液体浓度监测器：配件号
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配件编号 |
描述 |
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GV1CBLH04 |
19针螺旋接头，带4.0米（13.12英寸）聚氯乙烯护套电缆 |
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GV1USBCVT |
USB转4线串行转换器 |